闡述了微電子工業(yè)芯片制造而產(chǎn)生的含氟廢水、硅片研磨廢水以及純水處理高純水設備再生所產(chǎn)生的高濃度酸堿廢水的處理方法,特別對含氟廢水的處理作了大膽的嘗試,取得了明顯的成效.對高純水設備處理后的合格廢水回收用作工藝設備及動力設備的冷卻水,利用高純水設備產(chǎn)生了良好的經(jīng)濟效益和社會效益.