本文研究了采用反滲透-連續(xù)電除鹽法(RO-EDI)方案的高純水設備制備純化水的原理、設備構成、日常操作、分析和優(yōu)化了高純水設備制水的運行條件,并簡要研究了在水系統(tǒng)驗證中若干相關問題。作為一種*的高純水設備設計工藝,與傳統(tǒng)的離子交換法(DI)相比,該套高純水設備具有易于操作、維護方便、產(chǎn)水水質好、自動化程度高、運行費用低等優(yōu)點,且該高純水設備無須進行化學再生和加鹽操作。在*佳條件下,可以生產(chǎn)出電阻率達17-18 MΩ·cm高標準的純化水。在水系統(tǒng)驗證中,著重研究了安裝確認、運行確認、性能確認等有關內容,以確保能夠得到可靠的驗證數(shù)據(jù)來保證水系統(tǒng)的正常運行和產(chǎn)水質量符合要求。