高純水——在電子工業(yè)中常定標(biāo)為18兆歐——早已成為制作集成電路及類似的單片器件的主要材料之一。現(xiàn)在,幾何尺寸變得更小的更高水平集成要求更嚴(yán)格控制工藝水中的微粒物質(zhì)。為了*經(jīng)濟地生產(chǎn)這種高純水,每一個特殊的應(yīng)用需要一個適當(dāng)?shù)南到y(tǒng)設(shè)計,該設(shè)計不但考慮到源水正常下的水質(zhì),而且還注意到它的暫時性的變化。