正多晶硅的生產(chǎn)工序復(fù)雜,在多晶硅生產(chǎn)中,高純水主要是用來清洗產(chǎn)品的,幾乎每道工序都要使用高純水,這樣產(chǎn)品與水直接接觸,使得加工過程中產(chǎn)生的微量污染得以洗凈,所以,高純水品質(zhì)的好壞將對多晶硅質(zhì)量起到重要影響。在此生產(chǎn)過程中,如果高純水中含有微量雜質(zhì)就有可能使產(chǎn)品再次受到污染,使成品率下降,由此看來,高品質(zhì)的純水對多晶硅生產(chǎn)就顯得尤為重要。